在矽循環再生系統處理上,首先將半導體產出的含矽廢砂漿清理過後,透過合成方式產生氫氣並運用在發電上,後續產生矽酸鈉(又稱水玻璃)後並放入廢硫酸,酸化後將產生100%再生的二氧化矽,可添加至橡膠、塑膠、建材等材料使用,產出如撥水劑或消光劑等高值化產品。其中氫氣部分需純化後再使用,因此光宇也開發出一套餘氫再生系統HRS,先採取電化學純化系統處理含氮餘氫,後續純化後的氫氣純度可達99.999%。經能源局驗證後,使用氫氣所產生的1度電僅會產生20公克的碳(目前台電平均1度電會產生509公克的碳),僅為台電1度電碳排的1/25,可同時兼顧綠能與減碳效果